Conference proceedings: October 8 - 10, 2001, San Jose, California
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium on Semiconductor Manufacturing San José, Calif (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Piscataway, NJ IEEE Operations Center 2001
Schlagworte:
Beschreibung:XI, 525 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0780367316

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