Conference proceedings: October 11 - 13, 1999, Santa Clara, California
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium on Semiconductor Manufacturing Santa Clara, Calif (VerfasserIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Piscataway, NJ IEEE Operations Center 1999
Schlagworte:
Beschreibung:XI, 469 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0780354036
0780354044

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