Symposium: held April 5 - 8, 1999, San Francisco, California, USA
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Symposium Low Dielectric Constant Materials and Applications in Microelectronics San Francisco, Calif (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Hummel, John (HerausgeberIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Warrendale, Pa. Materials Research Soc. 1999
Schriftenreihe:Materials Research Society symposium proceedings 565 : Low dielectric constant materials ; 5
Materials Research Society symposium proceedings 565
Schlagworte:
Beschreibung:XI, 306 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:1558994726

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