Surface characterization for computer disks, wafers, and flat panel displays: 28 January 1999, San Jose, California
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Stover, John C. (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 1999
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 3619
Schlagworte:
Beschreibung:VII, 136 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0819430897

Es ist kein Print-Exemplar vorhanden.

Fernleihe Bestellen Achtung: Nicht im THWS-Bestand!