APA (7th ed.) Citation

Arps, M. (1997). Eigenschaften und Anwendungen von Niedertemperatur-PECVD-Siliziumnitrid (1. Aufl.). Wiss.- und Technik-Verl.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Arps, Michael. Eigenschaften Und Anwendungen Von Niedertemperatur-PECVD-Siliziumnitrid. 1. Aufl. Berlin: Wiss.- und Technik-Verl, 1997.

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Arps, Michael. Eigenschaften Und Anwendungen Von Niedertemperatur-PECVD-Siliziumnitrid. 1. Aufl. Wiss.- und Technik-Verl, 1997.