Eigenschaften und Anwendungen von Niedertemperatur-PECVD-Siliziumnitrid:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
Wiss.- und Technik-Verl.
1997
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
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| Beschreibung: | 143 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3896854453 |
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