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Papenbreer, R. L. (1995). Elektron-Zyklotron-Resonanz Mikrowellen-Ionenquelle hoher Leistung zur Mikrostrukturierung Schichtdeposition und Diagnostik.

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Papenbreer, Rudolf L. Elektron-Zyklotron-Resonanz Mikrowellen-Ionenquelle Hoher Leistung Zur Mikrostrukturierung Schichtdeposition Und Diagnostik. 1995.

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Papenbreer, Rudolf L. Elektron-Zyklotron-Resonanz Mikrowellen-Ionenquelle Hoher Leistung Zur Mikrostrukturierung Schichtdeposition Und Diagnostik. 1995.

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