Metal nonmetal microsystems: physics, technology, and applications: 11 - 14 September 1995, Polanica Zdrój, Poland
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Licznerski, Benedykt W. (HerausgeberIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 1996
Schriftenreihe:Proceedings / SPIE 2780
Schlagworte:
Beschreibung:XXII, 422 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0819421669

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