Metallschichten für die Mikroelektronik:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Oberursel bei Frankfurt/M.
Deutsche Gesellschaft für Metallkunde
1979
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| Schriftenreihe: | Fachbericht / Deutsche Gesellschaft für Metallkunde
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| Beschreibung: | 37 S. Ill., graph. Darst. |
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