Kombination eines Rastertunnel- und Kraftmikroskopes mit einem Rasterelektronenmikroskop zur Untersuchung kleinster Dünnfilmstrukturen:
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| Language: | Undetermined |
| Published: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich, Inst. für Schicht- und Ionentechnik
1990
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