Kombination eines Rastertunnel- und Kraftmikroskopes mit einem Rasterelektronenmikroskop zur Untersuchung kleinster Dünnfilmstrukturen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich, Inst. für Schicht- und Ionentechnik
1990
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
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| Beschreibung: | 111 S. Ill., graph. Darst. |
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