Hochauflösende dreidimensionale Positionierungsbestimmung bei Rastersondenmikroskopen mittels kapazitiver Aufnehmer:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Bremerhaven
Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss.
1995
|
| Schriftenreihe: | PTB-Bericht : Fertigungsmeßtechnik
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| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | III, 181 S. Ill., graph. Darst. |
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