Symposium: held November 28 - 30, 1994, Boston, Massachusetts, USA
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Symposium on Chemical Vapor Deposition of Refractory Metals and Ceramics Boston, Mass (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Gallois, Bernard M. (HerausgeberIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. MRS 1995
Schriftenreihe:Materials Research Society symposium proceedings 363 : Chemical vapor deposition of refractory metals and ceramics ; 3
Materials Research Society symposium proceedings 363
Schlagworte:
Beschreibung:XI, 284 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:1558992642

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