Plasmaloses und laserinduziertes Ätzen von Silicium mit den Halogenen Fluor, Chlor und Brom:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
FZKA
1995
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe Technik und Umwelt
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