In-situ-Analyse des epitaktischen Wachstums von III - V-Halbleitern mit der Reflexions-Anisotropie-Spektroskopie (RAS):
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Reinhardt, Frank (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Berlin W & T, Wiss.-und-Technik-Verl. 1994
Ausgabe:1. Aufl.
Schlagworte:
Beschreibung:171 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:3928943111

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