IC-Prozeßkompatible anisotrop wirkende Ätzlösungen zur Herstellung integrierter Mikrosysteme in Silicium:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
1994
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| Beschreibung: | 130 Seiten Illustrationen, Diagramme |
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