Tucciarone, A. (1992). Microcircuit engineering 91: ME ; proceedings of the International Conference on Microlithography, September 17 - 19, 1991, Rome, Italy. Elsevier.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Tucciarone, A. Microcircuit Engineering 91: ME ; Proceedings of the International Conference on Microlithography, September 17 - 19, 1991, Rome, Italy. Amsterdam <<[u.a.]>>: Elsevier, 1992.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Tucciarone, A. Microcircuit Engineering 91: ME ; Proceedings of the International Conference on Microlithography, September 17 - 19, 1991, Rome, Italy. Elsevier, 1992.
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