Schichtsysteme für zukünftige Bauelemente der Mikro-, Opto- und Molekulartechnik ; 1. Fachtagung - November 1986:
Gespeichert in:
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| Veröffentlicht: |
Karl-Marx-Stadt
1987
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| Schriftenreihe: | Wissenschaftliche Tagungen der Technischen Universität Karl-Marx-Stadt
1987,11 |
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