Symposium: held November 30 - December 3, 1992, Boston, Massachusetts, USA
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Meeting of Chemical Perspectives of Microelectronic Materials Boston, Mass (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Abernathy, C. R. (HerausgeberIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. 1993
Schriftenreihe:Materials Research Society symposium proceedings 282 : Chemical perspectives of microelectronic materials ; 3
Materials Research Society symposium proceedings 282
Schlagworte:
Beschreibung:XV, 727 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:1558991778

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