Commercial applications of precision manufacturing at the sub-micron level: 19 - 21 November 1991, London, United Kingdom
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Baker, Lionel R. (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. 1992
Schriftenreihe:Proceedings / SPIE 1573
Schlagworte:
Beschreibung:X, 237 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0819407038

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