Symposium: held November 30 - December 2, 1988, Boston, Massachusetts, U.S.A.
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Symposium on Chemical Perspectives of Microelectronic Materials Boston, Mass (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Gross, Mihal E. (HerausgeberIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Pittsburgh, Pa. 1989
Schriftenreihe:Materials Research Society symposium proceedings 131 : Chemical perspectives of microelectronic materials ; [1]
Materials Research Society symposium proceedings 131
Schlagworte:
Beschreibung:XV, 642 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:1558990046

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