Jain, K. (1990). Excimer laser lithography (2. print.). SPIE Opt. Eng. Pr.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Jain, Kanti. Excimer Laser Lithography. 2. print. Bellingham, Wash: SPIE Opt. Eng. Pr, 1990.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Jain, Kanti. Excimer Laser Lithography. 2. print. SPIE Opt. Eng. Pr, 1990.
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