Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Vollkommer, Frank (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: 1989
Schlagworte:
Beschreibung:82 S. Ill., graph. Darst.

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