Prozeßinduzierte Fehlergefüge in Siliziumeinkristallen: Systeme Si-SiOx, Si-SiO2 und Si-SiBx
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
1989
|
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 158 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV024365682 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20090910 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 900406s1989 ad|| m||| 00||| und d | ||
| 015 | |a 89,H10,0588 |2 dnb | ||
| 035 | |a (OCoLC)246531012 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV024365682 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-83 | ||
| 100 | 1 | |a Giese, Ulrich |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Prozeßinduzierte Fehlergefüge in Siliziumeinkristallen |b Systeme Si-SiOx, Si-SiO2 und Si-SiBx |c von Ulrich Giese u. Elmar Selbach |
| 264 | 1 | |c 1989 | |
| 300 | |a 158 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Bochum, Univ., Diss., 1989 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Gitterbaufehler |0 (DE-588)4125030-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumdioxid |0 (DE-588)4077447-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Einkristall |0 (DE-588)4013901-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Sauerstoff |0 (DE-588)4051803-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Bor |0 (DE-588)4007709-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Einkristall |0 (DE-588)4013901-3 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Bor |0 (DE-588)4007709-3 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Gitterbaufehler |0 (DE-588)4125030-8 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Einkristall |0 (DE-588)4013901-3 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Gitterbaufehler |0 (DE-588)4125030-8 |D s |
| 689 | 1 | 3 | |a Sauerstoff |0 (DE-588)4051803-6 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 2 | 1 | |a Siliciumdioxid |0 (DE-588)4077447-8 |D s |
| 689 | 2 | 2 | |a Gitterbaufehler |0 (DE-588)4125030-8 |D s |
| 689 | 2 | |5 DE-604 | |
| 689 | 3 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 3 | 1 | |a Einkristall |0 (DE-588)4013901-3 |D s |
| 689 | 3 | 2 | |a Gitterbaufehler |0 (DE-588)4125030-8 |D s |
| 689 | 3 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Selbach, Elmar |e Sonstige |4 oth | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018346643 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804140319815499776 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Giese, Ulrich |
| author_facet | Giese, Ulrich |
| author_role | aut |
| author_sort | Giese, Ulrich |
| author_variant | u g ug |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV024365682 |
| ctrlnum | (OCoLC)246531012 (DE-599)BVBBV024365682 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02059nam a2200577 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV024365682</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20090910 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">900406s1989 ad|| m||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">89,H10,0588</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)246531012</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV024365682</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Giese, Ulrich</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Prozeßinduzierte Fehlergefüge in Siliziumeinkristallen</subfield><subfield code="b">Systeme Si-SiOx, Si-SiO2 und Si-SiBx</subfield><subfield code="c">von Ulrich Giese u. Elmar Selbach</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1989</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">158 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Bochum, Univ., Diss., 1989</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gitterbaufehler</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125030-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumdioxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077447-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Einkristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013901-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sauerstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4051803-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Bor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4007709-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Einkristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013901-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Bor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4007709-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Gitterbaufehler</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125030-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Einkristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013901-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Gitterbaufehler</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125030-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Sauerstoff</subfield><subfield code="0">(DE-588)4051803-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Siliciumdioxid</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077447-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="2"><subfield code="a">Gitterbaufehler</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125030-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="1"><subfield code="a">Einkristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013901-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="2"><subfield code="a">Gitterbaufehler</subfield><subfield code="0">(DE-588)4125030-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Selbach, Elmar</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018346643</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV024365682 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T21:58:06Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018346643 |
| oclc_num | 246531012 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-83 |
| owner_facet | DE-83 |
| physical | 158 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1989 |
| publishDateSearch | 1989 |
| publishDateSort | 1989 |
| record_format | marc |
| spelling | Giese, Ulrich Verfasser aut Prozeßinduzierte Fehlergefüge in Siliziumeinkristallen Systeme Si-SiOx, Si-SiO2 und Si-SiBx von Ulrich Giese u. Elmar Selbach 1989 158 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Bochum, Univ., Diss., 1989 Gitterbaufehler (DE-588)4125030-8 gnd rswk-swf Siliciumdioxid (DE-588)4077447-8 gnd rswk-swf Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd rswk-swf Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Sauerstoff (DE-588)4051803-6 gnd rswk-swf Bor (DE-588)4007709-3 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Einkristall (DE-588)4013901-3 s Bor (DE-588)4007709-3 s Gitterbaufehler (DE-588)4125030-8 s DE-604 Sauerstoff (DE-588)4051803-6 s Siliciumdioxid (DE-588)4077447-8 s Selbach, Elmar Sonstige oth |
| spellingShingle | Giese, Ulrich Prozeßinduzierte Fehlergefüge in Siliziumeinkristallen Systeme Si-SiOx, Si-SiO2 und Si-SiBx Gitterbaufehler (DE-588)4125030-8 gnd Siliciumdioxid (DE-588)4077447-8 gnd Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Sauerstoff (DE-588)4051803-6 gnd Bor (DE-588)4007709-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4125030-8 (DE-588)4077447-8 (DE-588)4013901-3 (DE-588)4077445-4 (DE-588)4051803-6 (DE-588)4007709-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Prozeßinduzierte Fehlergefüge in Siliziumeinkristallen Systeme Si-SiOx, Si-SiO2 und Si-SiBx |
| title_auth | Prozeßinduzierte Fehlergefüge in Siliziumeinkristallen Systeme Si-SiOx, Si-SiO2 und Si-SiBx |
| title_exact_search | Prozeßinduzierte Fehlergefüge in Siliziumeinkristallen Systeme Si-SiOx, Si-SiO2 und Si-SiBx |
| title_full | Prozeßinduzierte Fehlergefüge in Siliziumeinkristallen Systeme Si-SiOx, Si-SiO2 und Si-SiBx von Ulrich Giese u. Elmar Selbach |
| title_fullStr | Prozeßinduzierte Fehlergefüge in Siliziumeinkristallen Systeme Si-SiOx, Si-SiO2 und Si-SiBx von Ulrich Giese u. Elmar Selbach |
| title_full_unstemmed | Prozeßinduzierte Fehlergefüge in Siliziumeinkristallen Systeme Si-SiOx, Si-SiO2 und Si-SiBx von Ulrich Giese u. Elmar Selbach |
| title_short | Prozeßinduzierte Fehlergefüge in Siliziumeinkristallen |
| title_sort | prozeßinduzierte fehlergefuge in siliziumeinkristallen systeme si siox si sio2 und si sibx |
| title_sub | Systeme Si-SiOx, Si-SiO2 und Si-SiBx |
| topic | Gitterbaufehler (DE-588)4125030-8 gnd Siliciumdioxid (DE-588)4077447-8 gnd Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Sauerstoff (DE-588)4051803-6 gnd Bor (DE-588)4007709-3 gnd |
| topic_facet | Gitterbaufehler Siliciumdioxid Einkristall Silicium Sauerstoff Bor Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT gieseulrich prozeßinduziertefehlergefugeinsiliziumeinkristallensystemesisioxsisio2undsisibx AT selbachelmar prozeßinduziertefehlergefugeinsiliziumeinkristallensystemesisioxsisio2undsisibx |