Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik:
Gespeichert in:
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|---|---|
| Format: | Tagungsbericht Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Freiberg
TU Bergakad.
2004
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Freiberger Forschungshefte
B ; 327 : Werkstofftechnologie |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 291 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3860122185 |
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