2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
2009
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik
382 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | XI, 165 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
| ISBN: | 9783183382095 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV024122942 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20091011 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 090924s2009 ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 9783183382095 |9 978-3-18-338209-5 | ||
| 035 | |a (OCoLC)432314992 | ||
| 035 | |a (DE-599)BSZ307593487 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-83 |a DE-210 | ||
| 082 | 0 | |a 681.28 |2 22/ger | |
| 084 | |a ZN 1000 |0 (DE-625)157236: |2 rvk | ||
| 100 | 1 | |a Buder, Ulrich |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a 2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder |c Ulrich Buder |
| 246 | 1 | 3 | |a Zwei-D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 2009 | |
| 300 | |a XI, 165 S. |b Ill., graph. Darst. |c 21 cm | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik |v 382 | |
| 502 | |a Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2008 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Hitzdrahtanemometer |0 (DE-588)4129820-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Sensor-Array |0 (DE-588)4213726-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Strömungssensor |0 (DE-588)4183716-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Herstellung |0 (DE-588)4159653-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Wandschubspannung |0 (DE-588)4236151-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a MEMS |0 (DE-588)4824724-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Wandschubspannung |0 (DE-588)4236151-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Strömungssensor |0 (DE-588)4183716-2 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Hitzdrahtanemometer |0 (DE-588)4129820-2 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Sensor-Array |0 (DE-588)4213726-3 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a MEMS |0 (DE-588)4824724-8 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Herstellung |0 (DE-588)4159653-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a Verein Deutscher Ingenieure |t Fortschritt-Berichte VDI |p 9 |v 382 |w (DE-604)BV047505631 |9 382 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HBZ Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=018339664&sequence=000004&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018339664 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804140310607953920 |
|---|---|
| adam_text | Titel: 2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder
Autor: Buder, Ulrich
Jahr: 2009
Inhaltsverzeichnis
Formelzeichen und Abkürzungen VIII
1. Einleitung I
1.1 Sensoranforderungen 2
2. Grundlagen und Stand der Technik 6
2.1 Einführung 6
2.2 Grundlagen 8
2.2.1 Joulesche Erwärmung 8
2.2.2 Temperaturabhängigkeit des elektrischen Widerstands 8
2.2.3 Konvcktivcr Wärmetransport 10
2.2.4 Strömungszuständc 11
2.2.5 Kalibration von Hitzdrahtancmomctcm 13
2.2.6 Einsatz von Hitzdrahtancmomctcm ohne Kalibration 16
2.2.7 Betriebsarten von Hitzdrahtancmomctcm 17
2.2.8 Winkclabhängigkeit des Signals eines Hitzdrahtanemometers 19
2.2.9 Thermisches Übcrsprcchcn und Dctcktion von Rückströmgcbictcn 21
2.3 Überblick über realisierte Hitzdrahtancmomctcr 24
2.3.1 Konventionell hergestellte Hitzdrahtancmomctcr 24
2.3.2 In Lcitcrplattcntcchnik hergestellte Hitzdrahtancmomctcr 27
2.3.3 Mikrosystcmtcchnisch hergestellte Hitzdrahtsensoren 29
2.4 Zusammenfassung 33
3. Einzelsensor- und Sensorarray-Entwurf 35
3.1 Basisentwurf 35
3.2 Matcrialauswahl 40
3.2.1 Hitzdraht 41
3.2.2 Leiterbahnen 41
3.2.3 Bondpads 42
3.2.4 Substrat 42
3.3 Enrwurfsoptimicrung durch Finitc-Elcmcntc-Simulation 45
3.3.1 Zwcidimcnsionalc thermische Simulation 46
3.3.2 Dreidimensionale clcktrothcrmischc Simulation 52
3.3.3 Strömungssimulation von Linienarrays 54
3.4 Festlegung der Hitzdrahtgeometrien 57
V
3.5 Maskendesign 61
3.5.1 Einzelsensoren, Doppelsensoren und Linienarrays 61
3.5.2 Linienarray mit Rückseitenkontaktierung 65
3.6 Zusammenfassung 68
4. Technologische Realisierung 70
4.1 Prozessabläufe Sensorherstellung 70
4.1.1 Herstellung von Sensoren mit Vorderseitenkontaktierung 70
4.1.2 Herstellung von Sensoren mit Rückseitenkontaktierung 73
4.2 Beschreibung einzelner Prozessschritte 77
4.2.1 Polyimidfolien-Handling 77
4.2.2 Sputtern von Nickel auf Polyimid 80
4.2.3 Reaktives Ionen-Tiefcnätzen von Polyimid 81
4.2.4 Laserstrukturierung von Polyimid 92
4.3 Zusammenfassung 95
5. Messtechnische Untersuchungen 97
5.1 Messungen an Einzelsensoren mit Vorderseitenkontaktierung 97
5.1.1 Messeinrichtung und Mcssaufbau zur elektrischen Charakterisierung 97
5.1.2 Elektrische Charakterisierung 100
5.2 Messungen an Einzclsensorcn im Windkanal 103
5.2.1 Beschreibung des Messaufbaus und der Messanlagen 104
5.2.2 Kalibration der Scnsorik gegen eine Wandschubspannungswaage 106
5.2.3 Grenzfrequenzbestimmung 109
5.2.4 Bestimmung der Gicrwinkel-Charaktcristik 111
5.2.5 Messung an der Hinterkante eines Ahmcd-Body 113
5.3 Messungen mit Hybridarrays im Windkanal 115
5.3.1 Aufbau von Hybridarrays 115
5.3.2 Bestimmung der Wiedcranlcgc-Position nach Ablösung 118
5.3.3 Untersuchung des thermischen Übersprechens 120
5.3.4 Strömungsuntersuchung auf einer Hinterkantcnklappc 122
5.3.5 Untersuchung von transitioncllcr Strömung auf ebener Platte 125
5.4 Messungen mit rückscitcnkontakticrten Arrays im Windkanal 127
5.4.1 Aufbau der rückseitig kontaktierten Arrays 128
5.4.2 Bestimmung der Transitionslage auf ebener Platte 129
5.5 Vergleich gemessener und erwarteter Werte 133
5.6 Vergleich von Sensoranforderungen mit Ergebnissen der Sensortests 137
5.7 Zusammenfassung 138
6. Diskussion und Ausblick 139
Anhang A: MEMS Wandhitzdrahtsensoren - Daten und Veröffentlichungen 144
Anhang B: Mechanisch flexible MEMS Wandhitzdrahtarrays - Daten und 149
Veröffentlichungen
Literaturverzeichnis 151
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Buder, Ulrich |
| author_facet | Buder, Ulrich |
| author_role | aut |
| author_sort | Buder, Ulrich |
| author_variant | u b ub |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV024122942 |
| classification_rvk | ZN 1000 |
| ctrlnum | (OCoLC)432314992 (DE-599)BSZ307593487 |
| dewey-full | 681.28 |
| dewey-hundreds | 600 - Technology (Applied sciences) |
| dewey-ones | 681 - Precision instruments and other devices |
| dewey-raw | 681.28 |
| dewey-search | 681.28 |
| dewey-sort | 3681.28 |
| dewey-tens | 680 - Manufacture of products for specific uses |
| discipline | Handwerk und Gewerbe / Verschiedene Technologien Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02269nam a2200517 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV024122942</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20091011 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">090924s2009 ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783183382095</subfield><subfield code="9">978-3-18-338209-5</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)432314992</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BSZ307593487</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">681.28</subfield><subfield code="2">22/ger</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 1000</subfield><subfield code="0">(DE-625)157236:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Buder, Ulrich</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder</subfield><subfield code="c">Ulrich Buder</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Zwei-D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">2009</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">XI, 165 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield><subfield code="c">21 cm</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik</subfield><subfield code="v">382</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2008</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hitzdrahtanemometer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4129820-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sensor-Array</subfield><subfield code="0">(DE-588)4213726-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Strömungssensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4183716-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Herstellung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4159653-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Wandschubspannung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4236151-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MEMS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4824724-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Wandschubspannung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4236151-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Strömungssensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4183716-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Hitzdrahtanemometer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4129820-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Sensor-Array</subfield><subfield code="0">(DE-588)4213726-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">MEMS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4824724-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Herstellung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4159653-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure</subfield><subfield code="t">Fortschritt-Berichte VDI </subfield><subfield code="p">9</subfield><subfield code="v">382</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV047505631</subfield><subfield code="9">382</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HBZ Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=018339664&sequence=000004&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018339664</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV024122942 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T21:57:57Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783183382095 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018339664 |
| oclc_num | 432314992 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-83 DE-210 |
| owner_facet | DE-83 DE-210 |
| physical | XI, 165 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
| publishDate | 2009 |
| publishDateSearch | 2009 |
| publishDateSort | 2009 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik |
| spelling | Buder, Ulrich Verfasser aut 2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder Ulrich Buder Zwei-D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI-Verl. 2009 XI, 165 S. Ill., graph. Darst. 21 cm txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik 382 Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2008 Hitzdrahtanemometer (DE-588)4129820-2 gnd rswk-swf Sensor-Array (DE-588)4213726-3 gnd rswk-swf Strömungssensor (DE-588)4183716-2 gnd rswk-swf Herstellung (DE-588)4159653-5 gnd rswk-swf Wandschubspannung (DE-588)4236151-5 gnd rswk-swf MEMS (DE-588)4824724-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Wandschubspannung (DE-588)4236151-5 s Strömungssensor (DE-588)4183716-2 s Hitzdrahtanemometer (DE-588)4129820-2 s Sensor-Array (DE-588)4213726-3 s MEMS (DE-588)4824724-8 s Herstellung (DE-588)4159653-5 s DE-604 Verein Deutscher Ingenieure Fortschritt-Berichte VDI 9 382 (DE-604)BV047505631 382 HBZ Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=018339664&sequence=000004&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Buder, Ulrich 2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder Hitzdrahtanemometer (DE-588)4129820-2 gnd Sensor-Array (DE-588)4213726-3 gnd Strömungssensor (DE-588)4183716-2 gnd Herstellung (DE-588)4159653-5 gnd Wandschubspannung (DE-588)4236151-5 gnd MEMS (DE-588)4824724-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4129820-2 (DE-588)4213726-3 (DE-588)4183716-2 (DE-588)4159653-5 (DE-588)4236151-5 (DE-588)4824724-8 (DE-588)4113937-9 |
| title | 2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder |
| title_alt | Zwei-D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder |
| title_auth | 2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder |
| title_exact_search | 2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder |
| title_full | 2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder Ulrich Buder |
| title_fullStr | 2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder Ulrich Buder |
| title_full_unstemmed | 2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder Ulrich Buder |
| title_short | 2D-Sensorik für das Monitoring statischer und dynamischer Wandschubspannungsfelder |
| title_sort | 2d sensorik fur das monitoring statischer und dynamischer wandschubspannungsfelder |
| topic | Hitzdrahtanemometer (DE-588)4129820-2 gnd Sensor-Array (DE-588)4213726-3 gnd Strömungssensor (DE-588)4183716-2 gnd Herstellung (DE-588)4159653-5 gnd Wandschubspannung (DE-588)4236151-5 gnd MEMS (DE-588)4824724-8 gnd |
| topic_facet | Hitzdrahtanemometer Sensor-Array Strömungssensor Herstellung Wandschubspannung MEMS Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=018339664&sequence=000004&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV047505631 |
| work_keys_str_mv | AT buderulrich 2dsensorikfurdasmonitoringstatischerunddynamischerwandschubspannungsfelder AT buderulrich zweidsensorikfurdasmonitoringstatischerunddynamischerwandschubspannungsfelder |