Microfabricated systems and MEMS VI: proceedings of the International Symposium
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser: Hesketh, Peter J. (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Pennington, NJ Electrochemical Soc. 2002
Schriftenreihe:Proceedings volume / Electrochemical Society 2002,6
Beschreibung:VIII, 252 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:1566773725

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