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(1993). Aktoren aus mikrostrukturiertem Silizium für pneumatische und hydraulische Anwendungen: Verbundprojekt 1989 - 1991 ; Abschlußbericht. VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik.

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Aktoren Aus Mikrostrukturiertem Silizium Für Pneumatische Und Hydraulische Anwendungen: Verbundprojekt 1989 - 1991 ; Abschlußbericht. Berlin: VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik, 1993.

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Aktoren Aus Mikrostrukturiertem Silizium Für Pneumatische Und Hydraulische Anwendungen: Verbundprojekt 1989 - 1991 ; Abschlußbericht. VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik, 1993.