Aktoren aus mikrostrukturiertem Silizium für pneumatische und hydraulische Anwendungen: Verbundprojekt 1989 - 1991 ; Abschlußbericht
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
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| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik
1993
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| Schriftenreihe: | Reihe: Innovationen in der Mikrosystemtechnik
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