Strukturierbare magnetische Funktionskomponenten und Fertigungsverfahren für Mini- und Mikroaktoren: Verbundprojekt 1996 - 1999 ; Abschlußbericht
Saved in:
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| Language: | German |
| Published: |
Teltow
VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik GmbH
1999
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| Series: | Reihe: Innovationen in der Mikrosystemtechnik
66 |
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