Strukturierbare magnetische Funktionskomponenten und Fertigungsverfahren für Mini- und Mikroaktoren: Verbundprojekt 1996 - 1999 ; Abschlußbericht
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Teltow VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik GmbH 1999
Schriftenreihe:Reihe: Innovationen in der Mikrosystemtechnik 66
Schlagworte:
Beschreibung:148 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:3897500825

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