Aus- und Bewertung des Förderungsschwerpunktes Mikrosystemtechnik: integrierter Abschlußbericht
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Teltow VDI-VDE-Technologiezentrum Informationstechnik 1997
Schriftenreihe:Reihe: Innovationen in der Mikrosystemtechnik 48
Beschreibung:213 S. graph. Darst.

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