Entwicklung und Aufbau einer Magnetführung für einen Mikrolinearmotor:
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| Veröffentlicht: |
Garbsen
PZH, Produktionstechn. Zentrum
2007
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MIKROTECHNOLOGIE CHRISTINE RUFFERT ENTWICKLUNG UND AUFBAU EINER
MAGNETFUEHRUNG FUER EINEN MIKROLINEARMOTOR BERICHTE AUS DEM IMT BAND
04/2007 HERAUSGEBER: HANS-HEINRICH GATZEN INHALTSVERZEICHNIS VORWORT III
ABSTRACT IV ABSTRACT V INHALTSVERZEICHNIS VII FORMELZEICHEN IX
ABKUERZUNGEN XI 1 EINLEITUNG 1 2 STAND DER TECHNIK 6 2.1 EINFUEHRUNG 6 2.2
GLEIT- UND WAELZFUEHRUNGEN 7 2.3 LUFTFUEHRUNGEN 9 2.4 KRAFTUEBERTRAGUNG
DURCH MAGNETFELDER 12 2.4.1 MAXWELL-KRAFT UND ELEKTROMAGNETISCHE
LEVITATION 13 2.4.2 LORENTZ-KRAFT UND ELEKTRODYNAMISCHE LEVITATION 15
2.4.3 MAGNETISCHE FUEHRUNGEN UND LAGER 17 2.4.4 MAGNETSCHWEBEBAHNTECHNIK
20 2.5 FERTIGUNGSTECHNOLOGIEN UND WERKSTOFFE FUER ELEKTROMAGNETISCHE
MIKROAKTOREN 22 3 AUFGABENSTELLUNG UND ZIELSETZUNG 28 4 VORGEHENSWEISE
29 4.1 KONZEPTENTWICKLUNG UND DESIGNPROZESS 29 4.2 FERTIGUNG DES
BAUTEILS UND EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN 31 5 VERSUCHSTECHNIK 3 2 5.1
ANLAGENTECHNIK 32 5.1.1 MASKENJUSTIER- UND BELICHTUNGSANLAGE FUER DIE
FOTOLITHOGRAFIE 32 5.1.2 KATHODENZERSTAEUBUNGSANLAGE 34 5.1.3 ANLAGE FUER
PECVD-PROZESSE 35 5.1.4 GALVANIKZELLEN 38 5.1.5 LONENSTRAHLAETZANLAGE 40
5.1.6 ANLAGEN ZUR MECHANISCHEN BEARBEITUNG 42 5.2 MESSTECHNIK 42 5.2.1
BESTIMMUNG MECHANISCHER SCHICHTSPANNUNGEN 43 5.2.2 VERMESSUNG
HARTMAGNETISCHER SCHICHTEN 44 5.2.3 KRAFTMESSUNGEN 46 6 SYSTEMENTWURF
DER ELEKTROMAGNETISCHEN FUEHRUNG 47 6.1 FUEHRUNGSKONZEPT 47 SEITE VIII
INHALTSVERZEICHNIS 6.2 SYSTEMINTEGRATIONSKONZEPT 48 6.3
SIMULATIONSBASIERTER ENTWURF DER FUEHRUNG 49 6.3.1 ELEKTROMAGNETISCHE
FUEHRUNG MIT ZWEILAGIGEN SPULEN 52 6.3.2 ELEKTROMAGNETISCHE FUEHRUNG MIT
VIERLAGIGEN SPULEN 55 6.3.3 BERECHNUNG DES LAEUFERGEWICHTS 58 6.3.4
THERMISCHE BETRACHTUNGEN 59 6.4 FERTIGUNGSGERECHTER ENTWURF UND
ABLEITUNG DER TECHNOLOGIEFOLGE 61 6.4.1 STATOR MIT ZWEILAGIGEM
SPULENDESIGN 61 6.4.2 STATOR MIT VIERLAGIGEM SPULENDESIGN 64 6.4.3
LAEUFERSTRUKTUREN FUER DAS ZWEILAGIGE FUEHRUNGSSYSTEM 68 6.4.4
LAEUFERSTRUKTUREN FUER DAS VIERLAGIGE FUEHRUNGSSYSTEM 69 7
TECHNOLOGIEENTWICKLUNG 71 7.1 GALVANISCHE PROZESSE 71 7.2 ABSCHEIDUNG
ANORGANISCHER SCHICHTEN IM PECVD-VERFAHREN 74 7.2.1
SCHICHTSPANNUNGSUNTERSUCHUNGEN 74 7.2.2 SCHICHTSPANNUNGSOPTIMIERUNG UND
-STOECHIOMETRIE 77 7.2.3 AETZEN ANORGANISCHER ISOLATIONSSCHICHTEN 78 7.3
FLUORESZIERENDE MARKEN FUER DIE BAUTEILMONTAGE 79 8 FERTIGUNG DER
ELEKTROMAGNETISCHEN FUEHRUNG 82 8.1 HERSTELLUNG DER ZWEILAGIGEN SPULEN 82
8.2 HERSTELLUNG DER VIERLAGIGEN SPULEN 85 8.3 FERTIGUNG DER
HARTMAGNETISCHEN STRUKTUREN 89 8.4 AUFBAU DES KAPAZITIVEN
ABSTANDSMESSSYSTEMS 91 8.5 VEREINZELUNG UND MONTAGE DES
ELEKTROMAGNETISCHEN FUEHRUNGSSYSTEMS 93 9 EXPERIMENTELLE UNTERSUCHUNGEN
94 9.1 ELEKTRISCHE CHARAKTERISIERUNG DER SPULEN 94 9.2 THERMISCHE
MESSUNGEN 95 9.3 VERMESSUNG DER PERMANENTMAGNETISCHEN SCHICHTEN 97 9.4
KRAFTMESSUNGEN 98 9.4.1 KRAFTMESSUNGEN AM ZWEILAGIGEN SPULENSYSTEM 98
9.4.2 KRAFTMESSUNGEN AM VIERLAGIGEN SPULENSYSTEM 100 10 ERGEBNISSE UND
AUSBLICK 102 10.1 UEBERSICHT UEBER DIE ERZIELTEN ERGEBNISSE 102 10.2
AUSBLICK 103 11 ZUSAMMENFASSUNG 105 LITERATUR 107
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