Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid (c-BN) mit dem DC-Magnetron Sputterverfahren:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Stuttgart
Fraunhofer-IRB-Verl.
1998
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| Schriftenreihe: | Berichte aus Forschung und Entwicklung
4 |
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