APA (7th ed.) Citation

(1982). Einführende Beiträge zur Mikrolithografie: Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie". Friedrich-Schiller-Univ.

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Einführende Beiträge Zur Mikrolithografie: Tagungsband Der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie". Jena: Friedrich-Schiller-Univ, 1982.

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Einführende Beiträge Zur Mikrolithografie: Tagungsband Der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie". Friedrich-Schiller-Univ, 1982.

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