Einführende Beiträge zur Mikrolithografie: Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie"
Gespeichert in:
| Format: | Tagungsbericht Buch |
|---|---|
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jena
Friedrich-Schiller-Univ.
1982
|
| Schriftenreihe: | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena
1982 |
| Beschreibung: | 232 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000zcb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV023823488 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20090401000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 000228s1982 ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)74714730 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV023823488 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-634 | ||
| 084 | |a UX 2150 |0 (DE-625)146948: |2 rvk | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Einführende Beiträge zur Mikrolithografie |b Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" |c veranst. von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981. [Verantw. Bearb.: Peter Pertsch] |
| 264 | 1 | |a Jena |b Friedrich-Schiller-Univ. |c 1982 | |
| 300 | |a 232 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena |v 1982 | |
| 700 | 1 | |a Pertsch, Peter |e Sonstige |4 oth | |
| 710 | 2 | |a Friedrich-Schiller-Universität Jena |b Arbeitsgemeinschaft Technikum |e Sonstige |0 (DE-588)1089296-5 |4 oth | |
| 711 | 2 | |a Frühjahrsschule Elektronenlithografie |d 1981 |c Meuselbach-Schwarzmühle |j Sonstige |0 (DE-588)1093471-6 |4 oth | |
| 830 | 0 | |a Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena |v 1982 |w (DE-604)BV023811856 |9 1982 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-017465701 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804139022324334592 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV023823488 |
| classification_rvk | UX 2150 |
| ctrlnum | (OCoLC)74714730 (DE-599)BVBBV023823488 |
| discipline | Physik |
| format | Conference Proceeding Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01350nam a2200301zcb4500</leader><controlfield tag="001">BV023823488</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20090401000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">000228s1982 ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)74714730</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV023823488</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-634</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UX 2150</subfield><subfield code="0">(DE-625)146948:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Einführende Beiträge zur Mikrolithografie</subfield><subfield code="b">Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie"</subfield><subfield code="c">veranst. von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981. [Verantw. Bearb.: Peter Pertsch]</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Jena</subfield><subfield code="b">Friedrich-Schiller-Univ.</subfield><subfield code="c">1982</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">232 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena</subfield><subfield code="v">1982</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Pertsch, Peter</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="710" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Friedrich-Schiller-Universität Jena</subfield><subfield code="b">Arbeitsgemeinschaft Technikum</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)1089296-5</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="711" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Frühjahrsschule Elektronenlithografie</subfield><subfield code="d">1981</subfield><subfield code="c">Meuselbach-Schwarzmühle</subfield><subfield code="j">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)1093471-6</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena</subfield><subfield code="v">1982</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV023811856</subfield><subfield code="9">1982</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-017465701</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV023823488 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T21:37:28Z |
| institution | BVB |
| institution_GND | (DE-588)1089296-5 (DE-588)1093471-6 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-017465701 |
| oclc_num | 74714730 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-634 |
| owner_facet | DE-634 |
| physical | 232 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1982 |
| publishDateSearch | 1982 |
| publishDateSort | 1982 |
| publisher | Friedrich-Schiller-Univ. |
| record_format | marc |
| series | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena |
| series2 | Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena |
| spelling | Einführende Beiträge zur Mikrolithografie Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranst. von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981. [Verantw. Bearb.: Peter Pertsch] Jena Friedrich-Schiller-Univ. 1982 232 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena 1982 Pertsch, Peter Sonstige oth Friedrich-Schiller-Universität Jena Arbeitsgemeinschaft Technikum Sonstige (DE-588)1089296-5 oth Frühjahrsschule Elektronenlithografie 1981 Meuselbach-Schwarzmühle Sonstige (DE-588)1093471-6 oth Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena 1982 (DE-604)BV023811856 1982 |
| spellingShingle | Einführende Beiträge zur Mikrolithografie Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena |
| title | Einführende Beiträge zur Mikrolithografie Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" |
| title_auth | Einführende Beiträge zur Mikrolithografie Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" |
| title_exact_search | Einführende Beiträge zur Mikrolithografie Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" |
| title_full | Einführende Beiträge zur Mikrolithografie Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranst. von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981. [Verantw. Bearb.: Peter Pertsch] |
| title_fullStr | Einführende Beiträge zur Mikrolithografie Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranst. von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981. [Verantw. Bearb.: Peter Pertsch] |
| title_full_unstemmed | Einführende Beiträge zur Mikrolithografie Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" veranst. von der AG Technikum der Sektion Physik der Friedrich-Schiller-Universität Jena in Meuselbach 1981. [Verantw. Bearb.: Peter Pertsch] |
| title_short | Einführende Beiträge zur Mikrolithografie |
| title_sort | einfuhrende beitrage zur mikrolithografie tagungsband der fruhjahrsschule elektronenlithografie |
| title_sub | Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie" |
| volume_link | (DE-604)BV023811856 |
| work_keys_str_mv | AT pertschpeter einfuhrendebeitragezurmikrolithografietagungsbandderfruhjahrsschuleelektronenlithografie AT friedrichschilleruniversitatjenaarbeitsgemeinschafttechnikum einfuhrendebeitragezurmikrolithografietagungsbandderfruhjahrsschuleelektronenlithografie AT fruhjahrsschuleelektronenlithografiemeuselbachschwarzmuhle einfuhrendebeitragezurmikrolithografietagungsbandderfruhjahrsschuleelektronenlithografie |