Herstellung und Charakterisierung gesputterter TiN-Schichten auf Kupferwerkstoffen:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1994
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Fertigungstechnik
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| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 134 S. Ill., graph. Darst. |
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| adam_text | BERICHTE AUS DER FERTIGUNGSTECHNIK BENEDIKT MARTIN HERSTELLUNG UND
CHARAKTERISIERUNG GESPUTTERTER TIN-SCHICHTEN AUF KUPFERWERKSTOFFEN D 93
(DISS. UNIVERSITAET STUTTGART) VERLAG SHAKER AACHEN 1994 -2- INHALTS
VERZEICHNIS INHALTSVERZEICHNIS 2 ABKUERZUNGSVERZEICHNIS 4 ZUSAMMENFASSUNG
6 1 EINLEITUNG 9 2 STAND DER TECHNIK 14 3 BESCHREIBUNG DER
EXPERIMENTELLEN VORGEHENSWEISE 24 3.1 SUBSTRATVORBEHANDLUNG 24 3.2
CHARAKTERISIERUNG DER MODIFIZIERTEN SUBSTRATOBERFLAECHEN 27 3.3
BESCHICHTUNG DER SUBSTRATE 28 3.4 CHARAKTERISIERUNG DER SCHICHTEN 31 4
MESSUNGEN UND ERGEBNISSE DER SUBSTRATPRAEPARATION 36 4.1 MECHANISCHE
OBERFLAECHENBEARBEITUNG DURCH SCHLEIFEN UND POLIEREN 36 4.1.1 ABTRAG 36
4.1.2 OBERFLAECHENRAUHIGKEIT 37 4.1.3 AENDERUNG DER CHEMISCHEN
ZUSAMMENSETZUNG DER OBERFLAECHE ... 38 4.1.4 AENDERUNG DER
OBERFLAECHENSTRUKTUR 39 4.1.5 VERFORMUNG DER OBERFLAECHE 40 4.2 LONENAETZEN
41 4.2.1 ABTRAG 43 4.2.2 AENDERUNG DER MORPHOLOGIE UND STRUKTUR DER
SUBSTRATOBERFLAECHE . . 46 4.2.3 CHEMISCHE ZUSAMMENSETZUNG DER GEAETZEN
OBERFLAECHE 48 4.2.4 RAUHIGKEIT DER SUBSTRATOBERFLAECHEN 50 4.2.5
OBERFLAECHENVERFORMUNG 52 4.2.6 SUBSTRATOBERFLAECHENTEMPERATUR 52 4.2.7
INTERPRETATION DER MESSWERTE DES LONENAETZENS 54 -3- 5 BESCHICHTUNG 57 5.1
BESCHICHTUNGSRATE 57 5.2 TEMPERATUR WAHREND DES BESCHICHTENS 65 6
SCHICHTCHARAKTERISTIKA 67 6.1 SCHICHTWACHSTUM UND SCHICHTSTRUKTUR 67 6.2
OBERFLAECHENMORPHOLOGIE 72 6.3 SCHICHTOBERFLAECHENRAUHIGKEIT 74 6.4
SCHICHTHAERTE 77 6.4.1 MODELL ZUR HAERTEBERECHNUNG DUENNER SCHICHTEN 77
6.4.2 MODELL ZUR HAERTEBERECHNUNG: MESSUNGEN 85 6.4.3 HAERTEMESSUNGEN AN
DEN TIN-SCHICHTEN 90 6.5 EIGENSPANNUNGEN IN DER SCHICHT 94 6.6
SCHICHTHAFTUNG 98 6.7 TRIBOLOGISCHE KENNDATEN 105 6.8
KORROSIONSVERHALTEN 109 7 ZUSAMMENSTELLUNG UND INTERPRETATION DER
ERGEBNISSE 113 7.1 CHEMISCHE ZUSAMMENSETZUNG DER SCHICHTEN: URSACHE UND
KONTROLLE ... 113 7.2 CHEMISCHE ZUSAMMENSETZUNG DER SCHICHTEN:
SCHICHTSTRUKTUR UND STRUKTURELL BEDINGTE EIGENSCHAFTEN 115 7.3
SUBSTRATOBERFLAECHENZUSTAND UND SCHICHTEIGENSCHAFTEN 119 7.4
KONDENSATIONSBEDINGUNGEN UND SCHICHTEIGENSCHAFTEN 121 7.5 SCHICHTDICKE
UND SCHICHTEIGENSCHAFTEN 124 7.6 UEBERSICHTSDARSTELLUNG DER PROBLEMATIK
UND RESULTATE 126 8 LITERATUR 130
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