Untersuchungen zum Dünnen und Vereinzeln dünner Silizium-Wafer:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Tönning [u.a.]
<<Der>> Andere Verl.
2007
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SILIZIUM-WAFER CR »ERC WERU1Q 2007 X INHALTSVERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS INHALTSVERZEICHNIS X ABKUERZUNGEN UND FORMELZEICHEN
XIII ABKUERZUNGEN XIII FORMELZEICHEN XIV 1. EINLEITUNG 1 2. STAND DER
TECHNIK 3 2.1. EINSATZBEREICHE DUENNER WAFER 3 2.2. HERSTELLUNG UND
EIGENSCHAFTEN VON MONOKRISTALLINEM SILIZIUM 4 2.2.1. WAFERHERSTELLUNG 4
2.2.2. EIGENSCHAFTEN VON SILIZIUM 8 2.3. VERFAHREN ZUM DUENNEN VON WAFERN
9 2.3.1. ROTATIONSSCHLEIFEN 10 2.3.2. NASSCHEMISCHES AETZEN 11 2.3.3.
ATMOSPHERIC DOWNSTREAM PLASMA 11 2.3.4. CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN
(CMP) 11 2.3.4.1. POLIERSUSPENSION 14 2.3.4.2. POLIERTUCH 16 2.3.4.3.
MODELLE ZUM CMP 18 2.4. VERFAHREN ZUM VEREINZELN VON DUENNEN WAFERN 25
2.4.1. TRENNEN MITTELS LASER 25 2.4.2. TRENNEN MITTELS *WATERJET GUIDING
LASER 26 2.4.3. TRENNEN MITTELS PRAEZISIONSTRENNSCHLEIFEN (DICING) 27
2.4.3.1. VERFAHRENSDEFINITION TRENNSCHLEIFEN 27 2.4.3.2.
MATERIALTRENNMECHANISMEN BEIM SPANEN VON SILIZIUM 27 2.4.3.3.
PRAEZISIONSTRENNSCHLEIFEN 28 2.4.3.4. TRENNSCHLEIFBLATT 30 2.4.4.
KOMBINIERTE VERFAHREN ZUM DUENNEN UND TRENNEN 33 3. AUFGABENSTELLUNG UND
ZIELSETZUNG 35 4. VORGEHENSWEISE 36 5. VERSUCHSEINRICHTUNGEN UND
-METHODIK 38 5.1. VERSUCHSTECHNIK 38 5.1.1. VERSUCHSMASCHINE ZUM CMP 38
5.1.2. VERSUCHSMASCHINE ZUM TRENNSCHLEIFEN 40 INHALTSVERZEICHNIS XI 5.2.
MESSTECHNIK UND MESSMETHODEN 41 5.2.1. BESTIMMUNG DER TRENNRATE BEIM CMP
41 5.2.2. BESTIMMUNG DER WAFERRAUHEIT 43 5.2.3. BESTIMMUNG DER
SCHNITTQUALITAET BEIM TRENNSCHLEIFEN 47 5.2.4. BESTIMMUNG DER
SCHLEIFBLATTPARAMETER 48 5.2.4.1. BESTIMMUNG DES KORNUEBERSTANDES 48
5.2.4.2. BESTIMMUNG DER FLAECHENKOMKONZENTRATION 49 5.3. STATISTISCHE
VERSUCHSPLANUNG UND VERSUCHSAUSWERTUNG 50 6. THEORETISCHE BETRACHTUNGEN
54 6.1. THEORETISCHE BETRACHTUNGEN ZUM CMP 54 6.1.1. ABSCHAETZUNG DER
FLUIDFILMDICKE 54 6.2. THEORETISCHE BETRACHTUNGEN ZUM TRENNSCHLEIFEN 56
6.2.1. ERMITTLUNG DER WIRKSAMEN EINGRIFFSLAENGE BEIM TRENNSCHLEIFEN
DUENNER WERKSTUECKE 57 6.2.1.1. WIRKSAME EINGRIFFSLAENGE BEI DUENNEN
WERKSTUECKEN 58 6.2.2. ABSCHAETZUNG DER EINZELKORN-SPANUNGSDICKE H CU FUER
DUENNE WERKSTUECKE 61 6.2.2.1. EINZELKORN-SPANUNGSDICKE FUER DREIECKIGES
SCHNEIDENPROFIL 63 6.2.2.2. EINZELKORN-SPANUNGSDICKE FUER TRAPEZFOERMIGES
SCHNEIDENPROFIL 64 6.2.2.3. ABSCHAETZUNG DER GROESSE DER
EINZELKORN-SPANUNGSDICKE 65 6.2.3. MODELLANSATZ ZUR
OBERFLAECHENAUSPRAEGUNG DER SCHNITTSEITENWAND 67 7. EXPERIMENTELLE
UNTERSUCHUNGEN 69 7.1. CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN (CMP) 69 7.1.1.
VERSUCHSBEDINGUNGEN 69 7.1.1.1. POLIERMITTEL 69 7.1.1.2.
MASCHINENPARAMETER 70 7.1.1.3. VERSUCHSWERKSTOFF 71 7.1.2. TRENNRATE 72
7.1.2.1. ERFASSUNG DER EINFLUSSFAKTOREN 72 7.1.2.2. UNTERSUCHUNG DER
HAUPTEINFLUSSGROESSEN 75 7.1.2.3. EINFLUSS DES DRUCKS 75 7.1.2.4. EINFLUSS
DER POLIERTUCHDREHZAHL 76 7.1.3. OBERFLAECHENTOPOGRAPHIE 77 7.1.3.1.
EINFLUSS DES DRUCKS 78 7.1.3.2. EINFLUSS DER POLIERTUCHDREHZAHL 79 XI
XII INHALTSVERZEICHNIS 7.1.3.3. EINFLUSS DES SUSPENSIONSVOLUMENSTROMS 80
7.1.3.4. EINFLUSS DES POLIERMITTELS 82 7.1.4. EINFLUSS DER
AUSGANGSTOPOGRAPHIE AUF DAS BEARBEITUNGSERGEBNIS 83 7.1.4.1. EINFLUSS
DER AUSGANGSRAUHEIT DES WAFERS 83 7.1.4.2. EINFLUSS DER WELLIGKEIT DES
WAFERS 85 7.2. PRAEZISIONSTRENNSCHLEIFEN 88 7.2.1. VERSUCHSBEDINGUNGEN 88
7.2.1.1. SCHLEIFWERKZEUGE 88 7.2.1.2. KUEHLSCHMIERSTOFF 89 7.2.1.3.
ABRICHTEN UND SCHAERFEN 89 7.2.1.4. WAFER 90 7.2.1.5. PROBENVORBEREITUNG
90 7.2.2. TRENNSCHLEIFEN EINLAGIGER WAFER 90 7.2.2.1. EINFLUSS DER
VORSCHUBGESCHWINDIGKEIT 91 7.2.2.2. EINFLUSS DER SCHNITTGESCHWINDIGKEIT
92 7.2.2.3. EINFLUSS DER WAFERDICKE 95 7.2.2.4. EINFLUSS DER
TRENNSCHLEIFBLATTBREITE 97 7.2.2.5. EINFLUSS DER
FLAECHENKORNKONZENTRATION 98 7.2.2.6. FORMEN DER KANTENSCHAEDIGUNGEN 100
7.2.3. TRENNSCHLEIFEN ZWEILAGIGER WAFER 102 7.2.3.1. EINFLUSS DER
VORSCHUBGESCHWINDIGKEIT 102 7.2.3.2. EINFLUSS DER SCHNITTGESCHWINDIGKEIT
103 7.2.3.3. EINFLUSS DER FLAECHENKORNKONZENTRATION 104 7.2.3.4.
UNTERSUCHUNG DER SCHNITTSEITENWAND 105 8. DISKUSSION DER ERGEBNISSE UND
SCHLUSSFOLGERUNGEN 110 8.1. CHEMISCH-MECHANISCHES POLIEREN 110 8.2.
PRAEZISIONSTRENNSCHLEIFEN 112 9. ZUSAMMENFASSUNG 116 10.
LITERATURVERZEICHNIS 119
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