Holdings: Mikrosystemtechnik Chemnitz '95

Mikrosystemtechnik Chemnitz '95: Mikromechanik & Mikroelektronik ; 16. - 17. Oktober 1995, Chemnitz ; [2. Chemnitzer Fachtagung]

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adam_text	TECHNISCHE UNIVERSITAT CHEMNITZ-ZWICKAU * ITI LINN IN * * ! I I I III III I ILILILLL SYSTEM MIKROMECHANIK & MIKROELEKTRONIK 16.-17.OKTOBER1995 CHEMNITZ UB/TIB HANNOVER 89 114 072 043 INHALTSVERZEICHNIS SEITE SESSION 1 - TECHNOLOGIE 1 LEITUNG: T. GEFINER 1-1 HERSTELLUNG TIEFER SILIZIUMGRABEN IN DER OBERFLACHENMIKROMECHANIK 2 KUCHLER, M.; MARKERT, M.; BERTZ, A.; GEFLNER, T. TU CHEMNITZ-ZWICKAU 1-2 SENSORSPEZIFISCHE TECHNOLOGIEMODULE FUR INTEGRIERTE MIKROSENSOREN 9 HOFMANN, D.; STEINKE : A.; PREUFI, K.D. CIS INSTITUT FUR MIKROSENSORIK ERFURT 1-3 SIMULATION DES ORIENTIERUNGSABHANGIGEN ATZENS VON SILIZIUM 13 ZIELKE, D.; FRUHAUF, J.*; ENGELBRECHT, T.; ROLLER, F.** GEMAC MBH CHEMNITZ, TU CHEMNITZ-ZWICKAU 1-4 HANDLING, ASSEMBLY AND TESTING TECHNIQUES IN MICROMECHANICS 23 (WITH AN ASPECT ON MICROMCHANICAL TECHNOLOGIES) POPOVIC, G.; BRENNER, W.; DETTER, H. TU WIEN 1-5 DAS MICRODAC-VERFAHREN - EINE METHODE ZUR QUANTITATIVEN VERFORMUNGS- 31 BEWERTUNG VON MIKROKOMPONENTEN IM RASTERELEKTRONENMIKROSKOP MICHEL, B.; KUHNERT, R. * FRAUNHOFER-EINRICHTUNG FUR ZUVERLASSIGKEIT UND MIKROINTEGRATION BERLIN ** CHEMNITZER WERKSTOFFMECHANIK GMBH SESSION 2 - APPLIKATION 36 LEITUNG: H. GSCHWENDTNER 2-1 RESONATOREN IN DER OBERFLACHENMIKROMECHANIK 37 FUNK, K.; LARMER, F. ROBERT BOSCH GMBH STUTTGART 2-2 ANSTEUERUNG EINES SPIEGEL-AKTORARRAYS 41 SYMANZIK, H.-G.; MELZER, F.; EBEST, G. TU CHEMNITZ-ZWICKAU 2-3 MIKROSTRUKTURMESSUNGEN MIT DEM NADELSENSOR 48 BARTZKE, K CARL ZEISS JENA GMBH 2-4 ENTWICKIUNG UND SIMULATION EINER AUSWERTEELEKTRONIK ZUM EMSATZ IN 53 KAPAZITIVEN SENSORSYSTEMEN DER MIKROSYSTEMTECHNIK MUNKER, C. GEMAC MBH CHEMNITZ 2-5 INTEGRIERTES UMWELT-MONITOR-SYSTEM ZUR DETEKTIERUNG VON SCHWERMETALL-LONEN 63 SCHIFFNER, L; BOLDT. J.; THIEME, H. ZMD DRESDEN SEITE SESSION 3 - ENTWURF UO LEITUNG: H.-P. ECCARDT 3-1 ENTWURF KINETISCHER KOMPONENTEN DER BULKMIKROMECHANIK 69 MEHNER. J. TU CHEMNITZ-ZWICKAU 3-2 SYSTEMBESCHREIBUNG EINES MIKROMECHANISCHEN AKTORARRAYS MIT VHDL-A 77 SEIDEL, R.: BARTHEL, T.; MUIIER D.; ALBRECHT. J. TU CHEMNITZ-ZWICKAU 3-3 AUTOMATISCHE UBERSETZUNG VON FEM-MODELLEN IN EINE ANALOGE 86 HARDWAREBESCHREIBUNGSSPRACHE HOFMANN, K.; KARAM, J.M.; SCHULZE, M.: THEISEN. M. COURTOIS, B.; GLESNER, M. * TH DARMSTADT, ** TIMA/TIMC GRENOBLE CEDEX FRANCE 3-4 SIMULATION MIKROSYSTEMTEDVVSCHER AUFGABEN MIT GEKOPPELTEN SIMULATOREN 92 CLAUFT, C; GRUSCHWITZ, R.; SCHWARZ, P.; WUNSCHE, S FRAUNHOFER-LNSTITUT FUR INTEGRIERTE SCHALTUNGEN, DRESDEN 3-5 MODELLIERUNG UND SIMULATION BIDIREKTIONAL GEKOPPELTER ELEKTROMECHANISCHER 102 MIKROSYSTEME AM BEISPIEI EINES FREQUENZANALOGEN KRAFTSENSORS GERLACH, G.; SCHROTH, A.; BLOCHWITZ, T. TU DRESDEN SESSION 4 - KOMPONENTEN 111 LEITUNG: W. DOTZEL 4-1 KONZEPT EINES PLANAREN 2-ACHSEN SILIZIUM NEIGUNGSSENSORS 112 MAJER, S., MESCHEDER, U. FH FURTWANGEN 4-2 MIKROMECHANISCHER MODUL FUR DEN STOFFAUSTAUSCH ZWISCHEN 121 ZWEI FLUSSIGEN PHASEN STEINKE, S.O.: SCHUIZ T., KOHLER, M. IPHTE.V. JENA 4-3 MIKROSTRUKTURIERTESNO ? -TLM-MULTISENSORSYSTEME 130 STEINER, K.; SULZ, G.FKUHNER, G.; HOEFER, U. FRAUNHOFER-LNSTITUT FUR PHYSIKALISCHE MEDTECHNIK FREIBURG I.BR. 4-4 THEORETISCHE UND EXPERIMENTED VERHALTENSBESCHREIBUNG VON 139 MIKROSYSTEMEN MIT BEWEGLICHEN KOMPONENTEN - SCANNERSPIEGEL KURTH. S. TU CHEMNITZ-ZWICKAU 4-5 REIBUNGS- UND VERSCHLEILIUNTERSUCHUNGEN AN LIGA-MIKROSTRUKTUREN 151 BIEGER, T.; WALLRABE, U. FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH II SEITE POSTERSESSION 156 PI ANALOG HDL BESCHREIBUNG VON BONDGRAPH-DARGESTELLTEN SYSTEMEN 157 UND PROZESSEN HOFMANN, K.; LEONESCU, D.; NICULIU, T.; GLESNER, M * TH DARMSTADT ; ** TU BUKAREST P2 MIKROSYSTEM ZUR WERKZEUGUBERWACHUNG AN CNC-DREHZENTREN 161 BLOCHL, W.: HERBST, M. UNI ERLANGEN-NI IRNBERG P3 MODELLGENENERUNG FUR MECHANISCHE MIKROSYSTEM-KOMPONENTEN 170 VOGEL. T.; RECKE. C: KASPER, M. TU BERLIN P4 WARMEFLUFIKONTROLLE IN MIKROSTRUKTURIERTEN THERMOCYCLERN ZUR 184 BESCHLEUNIGTEN DURCHFUHRUNG DER PCR BAIER, V.; DIIINER, U.; POSER, S.; SCHULZ, T.; KOHLER, J.M.: BODNER, U.; SCHIMKAT, D., ADELHEIM, K.*; JAGER, R. * IPHT E.V. JENA, BIOMETRA GMBH GOTTINGEN, * HKI E.V. JENA P5 EXPERIMENTELLE UND NUMERISCHE WERKZEUGE ZUR DEFORMATIONS- 191 CHARAKTERISIERUNG VON SILIZIUMSTRUKTUREN UND BAUELEMENTEN GROWER, V.; MICHEL, B.; SOMMER, J.-P. FRAUNHOFER-EINRICHTUNG FUR ZUVERLASSIGKEIT UND MIKROINTEGRATION, BERLIN UND CHEMNITZ P6 SILICON FUSION BONDING ALS SILIZIUMMONTAGETECHNIK FUR MIKROMECHANISCHE 198 SENSOREN UND AKTOREN GEFTNER, T.; HILLER, K.; WIEMER, M. TU CHEMNITZ-ZWICKAU P7 UNTERSUCHUNGEN ZUR (AN-) ORDNUNG VON ENTWURFSENTSCHEIDUNGEN 206 RAUSCHER, R. UNI HAMBURG P8 SCHRITTWEISE ENTWICKLUNG EINES ELEKTROCHEMISCHEN MIKROANALYSESYSTEMS 216 SIIR, W.; LINDEMANN, K.; EGGERT, H.; GORGES-SCHLEUTER. M.; JAKOB, W.: HOFFMANN, W.; RAPP, R. FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH P9 PLASMAPOLYMERISIERTES STYROL UND A-METHYLSTYROL ALS RESIST FUR DIE 224 ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE ZUR DREIDIMENSIONALEN STRUKTUNERUNG FUR MIKROMECHANISCHE ANWENDUNGEN GEFINER. T : BERTZ, A : HILLE, N.; PLISCHKE. M.: WERNER, T. TU CHEMNITZ-ZWICKAU P10 ENTWURF MIKROELEKTRONISCHER SYSTEME MIT EINEM OBJEKTORIENTIERTEN MODELL 229 MONJAU, D.; SCHULZE, S.; AGSTEINER, K. TU CHEMNITZ-ZWICKAU III SEITE P11 ENTWURF HETEROGENER SYSTEME MIT ERWEITERTEN SEQUENCE CHARTS 239 KAHLERT, S.: KRUSE, T.\| MONJAU. D. TU CHEMNITZ-ZWICKAU P12 EINHEITLICHER ANSATZ ZUR VERHALTENSBESCHREIBUNG MIKROSYSTEM- 248 TECHNISCHER KOMPONENTEN CLAUD, C ; HAASE, J.; SCHWARZ, P.; WUNSCHE S. FHG IIS DRESDEN P13 UNTERSUCHUNG FLUIDISCHER TRANSPORTVORGANGE AM BEISPIEL EINES 252 ELEKTROKALONSCHEN DURCHFLUFJMENGENSENSORS NGUYEN, NT.; KIEHNSCHERF, R.; DOTZEL, W. TU CHEMNITZ-ZWICKAU P14 UNTERSUCHUNG ZUR IMPLEMENTIERUNG VON MODELLEN KAPAZITIVER 259 DRUCKSENSOREN IN DIE SCHALTUNGSSIMULATOREN ELDO UND PSPICE REITZ, S.; EBEST, G.; MELZER, F.; STROBEL, B. TU CHEMNITZ-ZWICKAU P15 MIKROFLUFLMODUL ZUM HEIZEN VON FLUSSIGKEITEN UND ZUR FLUS- UND 268 TEMPERATURMESSUNG BAIER.V.; MOKANSKYA; POSER,S.; SCHULZ,T.; WAGNER,K.-H.; ZIEREN.M.; KOHLER.J.M. IPHTE.V. JENA P16 INFRAROT-MIKROSENSORARRAY 275 NEUMANN, N* ; KBHLER, R.; GOTTFRIED-GOTTFRIED, R.; HEFI, N * DIAS ANGEWANDTE SENSORIK GMBH DRESDEN, ** TU DRESDEN, FHG IMS 2 DRESDEN P17 MIKROSYSTEM MIT INTEGRIERTER SENSORIK FUR DIE HYDROCEPHALUSTHARAPIE 281 SEIFERT, S.; OSWALD, J.; JOSWIG, J.; PHILIPP, W.; SCHWARZ, A. * FORDERVEREIN INSTITUT FUR MEDIZINTECHNIK DRESDEN E.V., RADEBEUL ** RADEBERGER HYBRIDELEKTRONIK GMBH P18 THERMOMECHANISCHE ANALYSEN MIKROTECHNISCHER KOMPONENTEN 287 FAUST, W.; DUDEK, R.; MICHEL, B. FHG INSTITUT FUR ZUVERLASSIGKEIT UND MIKROINTEGRATION BERLIN P19 ANWENDUNG DER FINITE-ELEMENTE-ANALYSE ZUR VERBESSERUNG DES 293 THERMISCHEN DESIGNS THERMOELEKTRISCHER MIKROSENSOREN DILLNER, U., KEDLER, E.; MULLER, J. IPHTE.V. JENA P20 ESD - WIRKUNG AUF ELEKTRONISCHE BAUELEMENTE UND BAUGRUPPEN - 300 ESD-SCHUTZMAUNAHMEN BERNDT, H. B.E.STAT ELEKTRONIK EIEKTROSTATIK SEELZE IV SEITE P21 BEWERTUNG DER MECHANISCHEN ZUVERLASSIGKEIT MIKROTECHNISCHER 310 AUFBAUTEN MITTELS IN-SITU-VERFORMUNGSEXPERIMENTEN IM REM KUHNERT, R.; TRANKNER, K.; AUERSPERG, J.; MICHEL, B.* * CHEMNITZER WERKSTOFFMECHANIK GMBH, ** FRAUNHOFER-EINRICHTUNG FUR ZUVERLASSIGKEIT UND MIKROINTEGRATION BERLIN P22 AUFBAU UND VERBINDUNGSTECHNIK MIKROOPTISCHER SYSTEME 316 GUYENOT, V ; EBERHARDT, R ; TITTELBACH, G. FRAUNHOFER-EINRICHTUNG FUR ANGEWANDTE OPTIK UND FEINMECHANIK JENA P23 STRESS- UND PROFILMESSUNGEN MIT HILFE EINES MULTI-PURPOSE- 326 ELIIPSOMETERS (MPE) TAMME, M.; KRAUSE, P. PLASMOS GMBH MUNCHEN P24 EINSATZ ANWENDUNGSSPEZIFISCHER OPTOELEKTRONISCHER SENSOREN (ASOS) 327 STREULICHTSENSOR BEI DER OBERFLACHENUNTERSUCHUNG RODER, R.: BUB. W. ; HOFER, B.; POFTNER, T MIKROELEKTRONIK ANWENDUNGSZENTRUM GMBH THURINGEN JENA ** FRAUNHOFER-EINRICHTUNG FIIR ANGEWANDTE OPTIK UND FEINMECHANIK JENA P25 ELEKTROCHEMISCHER PH-SENSOR IN DICKSCHICHTTECHNIK 334 HOSEL, M.; GLASER, M.; KADEN, H.; OELFINER, W. * HOCHSCHULE FUR TECHNIK UND WIRTSCHAFT MITTWEIDA (FH) ** KURT-SCHWABE-LNSTITUT FUR MEFJ- UND SENSORTECHNIK E.V MEINSBERG V
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topic_facet	Mikrosystemtechnik Mikroelektronik Mikromechanik Konferenzschrift 1995 Chemnitz
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