Untersuchung des Potentials elektrochemischer Senkbearbeitung mit oszillierender Werkzeugelektrode für Strukturierungsaufgaben der Mikrosystemtechnik:
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Bibliographic Details
Main Author: Förster, Ralf (Author)
Format: Thesis Book
Language:German
Published: Göttingen Cuvillier 2004
Edition:1. Aufl.
Subjects:
Physical Description:XVI, 268 S. zahlr. Ill. und graph. Darst. 21 cm
ISBN:3865372287

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