Untersuchung des Potentials elektrochemischer Senkbearbeitung mit oszillierender Werkzeugelektrode für Strukturierungsaufgaben der Mikrosystemtechnik:
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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Förster, Ralf (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Göttingen Cuvillier 2004
Ausgabe:1. Aufl.
Schlagworte:
Beschreibung:XVI, 268 S. zahlr. Ill. und graph. Darst. 21 cm
ISBN:3865372287

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