Electrochemical conditioning of silicon: surface analyses and electronic implications
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Lewerenz, Hans-Joachim (VerfasserIn), Jungblut, Helmut (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Berlin Hahn-Meitner-Inst. 1998
Beschreibung:Sonderdr. aus: Semiconductor micromachining ; 1
Beschreibung:[111] S. in getr. Zählung

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