Mikrosystemtechnik Chemnitz '03: Mikromechanik & Mikroelektronik
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:German
English
Veröffentlicht: Chemnitz Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik 2003
Schlagworte:
Beschreibung:VIII, 218 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:3000116559

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