Differenzdrucksensor in Dünnschicht-Mikromechanik:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Brunsch, Dietmar (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Göttingen Cuvillier 2002
Ausgabe:1. Aufl.
Schlagworte:
Beschreibung:XVI, 120 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:3898735877

Es ist kein Print-Exemplar vorhanden.

Fernleihe Bestellen Achtung: Nicht im THWS-Bestand!