Laserunterstützte Strukturierung von Feinstleitern in der Mikroelektronik: Untersuchungen zur additiven Herstellung flexibler Feinstleiterschaltungen durch Excimerlaserablation festhaftender, metallorganisch aktivierter Schichten auf Polyimidfilmen
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
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| Veröffentlicht: |
Berlin
Weißensee-Verl.
2000
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| Beschreibung: | V, 135 S. Ill., graph. Darst. 25 cm |
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