Kapazitive Silizium-Mikrophone für Hör- und Ultraschall:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
1999
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Mikromechanik
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| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | VI, 143 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
| ISBN: | 3826561619 |
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