Untersuchungen zur Kinetik der CVD-Abscheidung von Al2O3 aus AlCl3-CO2-H2-HCI-Gemischen:
Gespeichert in:
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| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Mainz
1999
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
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