(1997). Mikrosystemtechnik Chemnitz '97: Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz. Techn. Univ.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Mikrosystemtechnik Chemnitz '97: Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz. Chemnitz: Techn. Univ, 1997.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Mikrosystemtechnik Chemnitz '97: Mikromechanik & Mikroelektronik, [3. Chemnitzer Fachtagung] 13. - 14. Oktober 1997, Chemnitz. Techn. Univ, 1997.
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