Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung: FZKA 5671
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Both, Alexander (VerfasserIn)
Format: Abschlussarbeit Buch
Sprache:German
Veröffentlicht: Karlsruhe FZKA 1995
Ausgabe:Als Ms. gedr.
Schlagworte:
Beschreibung:III, 103 S. Ill., graph. Darst.

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