MST news: international magazine on smart systems technologies No. 21(1997). Materials for microsystems
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Teltow VDI/VDE Innovation und Technik GmbH 1997
Teltow VDI/VDE Technologiezentrum Informationstechnik GmbH 1997
Berlin NEXUS, Fraunhofer-Inst. für Siliziumtechnologie 1997
Schlagworte:
Beschreibung:48 S. Ill., graph. Darst. 30 cm

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